Das BRR Mikroskop

Das BRR Mikroskop eine Verschmelzung von Rasterelektronenmikroskop und Rastersondenmikroskop. Es vereinigt die besten Techniken beider Welten, ohne Kompromisse bei der Leistungsfähigkeit der Einzelkomponenten einzugehen. Die folgenden Eigenschaften machen das BRR Mikroskop zu einem weltweit einzigartigen System:

Basiert auf dem DME UHV AFM und der Carl Zeiss Auriga(R) Crossbeam Workstation (Herstellerwebseite Carl Zeiss, Integration in andere Zeiss Elektronenmikroskope auf Anfrage)
Der Schnittpunkt zwischen Elektronenstrahl und Focussed Ion Beam (FIB) befindet sich direkt an der Cantilever Spitze, das Samplescannerdesign (Probe bewegt sich beim Scannen) erlaubt Kombinationsmessungen mit allen drei Geräten an exakt dem selben Raumpunkt bzw. Punkt auf der Probenoberfläche mit nanometergenauer Präzision
Kippwinkel 0° bis 85° bei Wahrung eines SEM-Arbeitsabstandes von 5 mm
Probenoberfläche und Spitze sind in 0° und 54° Position mit dem FIB erreichbar, In-Situ Anspitzen des Cantilevers mittels FIB wird unterstützt
Einzigartig: Einheitliche Softwareoberfläche für AFM und Elektronenmikroskop
Gemeinsame Speicherung von AFM und Elektronenmikroskopbildern
Durch wechselbare Probenplattform keine Einbußen bzgl. der Funktionalität des Auriga(R) Systems
Keine Einbußen in der Funktionalität des AFMs durch Verwendung aller Standard AFM-Spitzen
Unterstützung aller allgemeinen AFM Betriebsmodi
Extrem hohe Stabilität des AFMs durch kompakte Cantilever / Probe / Scannereinheit, entwickelt für einzelatomare Auflösung
Automatische Laser / Detektorjustage beim Cantileverwechsel
Nachträgliche Nachrüstung bestehender Auriga (R) Installationen möglich durch einfachen "Türtausch"
AFM Daten: Scanbereich (X x Y x Z) 10 µm x 10 µm x 1 µm, Auflösung einzelatomar in allen drei Raumrichtungen

Laserpfad im BRR Mikroskop

Die AFM-Komponente des BRR Mikroskops ist mit klassischer Laser-Reflektions-Detektion bei gleichzeitig äußerst geringem SEM-Arbeitsabstand von 5 mm realisiert. Es ist um die Cantileverspitze bis zu ca. 85° rotierbar, was sowohl den Blick von oben auf die Spitze als auch den seitlichen Blick zwischen Spitze und Cantilever erlaubt. Gleichzeitig wurden durch einen extrem kurzen mechanischen Loop keine Kompromisse bzgl. der Stabilität eingegangen. Der Scanner bietet einzelatomare Auflösung in allen drei Raumrichtungen bei gleichzeitiger Verfahrmöglichkeit der Probe relativ zur Spitze.

Abgerundet wird das System durch eine vollständig integrierte Softwareoberfläche für AFM und SEM-Bedienung. Dies sorgt für eine einfache und sichere Bedienung sowie die Kombination der Messdaten beider Systeme.

Mehr Informationen über das BRR:

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