Spezielle Produkte für ZEISS FE-SEMs
SEM-AFM
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Vollintegrierte SEM-AFM-Kombination
Hohe Leistungsfähigkeit:
  • SEM gesteuerte Positionierung der AFM-Spitze zu interessanten Bereichen
  • alle AFM-Modi verfügbar
  • Anchored-Stage-Technologie für sehr hohe Stabilität und geringe Drift
Leichte Bedienbarkeit:
  • eine Bediensoftware für AFM und SEM
  • automatisiertes Laser- und Detektoralignment
Flexibilität:
  • Probenscanner-Setup mit 9 µm or 25 µm Scanbereich
  • Probengröße bis zu 10 mm
Vielseitigkeit:
Weitere Informationen:

Sample Transfer Shuttle




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Schutz für luftempfindlichen Proben
Hohe Leistungsfähigkeit:
  • Sicherer und einfacher Transport von luftempfindlichen Proben zwischen SEM und z.B. einer Handschuhbox oder Glove Bag
Leichte Bedienbarkeit:
  • Infrarotsteuerung zum Öffnen und Schließen des Sample Transfer Shuttle
Flexibilität:
  • Shuttle kann entweder mit Stickstoff gefüllt oder es kann über ein manuelles Ventil ein Vakuum erzeugt werden.
  • Standart-Proben-SEM-Halter (max. Probengröße 10 mm x 10 mm x 2 mm) oder
    mitgelieferter SEM-AFM-Probenhalter (max. Probengröße 10 mm x 10 mm x 6 mm)
Vielseitigkeit:
  • Schutz für luftempfindliche Proben wie Batterien, Brennstoffzellen, dünne Schichten, organische Elektronik, Halbleiter, hydrophile Kristalle uvm, um diese vor Einflüssen wie Oxidation, Korrosion, Kontamination oder Feuchtigkeit zu schützen.
Weitere Informationen:

High Precision Stage




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Positionierung der Probe mit Submikrometergenauigkeit
Hohe Leistungsfähigkeit:
  • Präzise Navigation über eine große Entfernung
  • Höhere Geschwindigkeit und Auflösung bei kleinerem Datenvolumen

Leichte Bedienbarkeit:
  • Die High precision stage läßt sich genauso bedienen wie die Standard-ZEISS-Stage

Flexibilität:
  • Automatisierte Multidetektoranalyse
  • Positionierungs- und Repositionierungsroutine mit wesentlich höherer Zuverlässigkeit

Vielseitigkeit:
  • Correlative Measurement Software

Weitere Informationen: